超純水設備生產出來的水為純水，純水又稱去離子水，是指以契合日子飲用水衛生標準的水為原水，經過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他恰當的加工辦法，制得的密封于容器內，且不含任何添加物，無色通明，可直接飲用的水，也能夠稱為純潔物（在化學上），在實驗中運用較多，又因是以蒸餾等辦法制造，故又稱蒸餾水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純潔水；但純水仍是少喝為好，由于里面并沒有太多人體需求的礦物質。純水不易導電，是絕緣體。鉛酸蓄電池補水時要運用純水。純化水是指純水經過蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其他適合的辦法制得的供藥用的水，不含任何添加劑超純水是指電阻率到達10MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制造也都要運用超純水。
