超純水設備中除裝有若干RO膜元件外，還有其它配套設備及儀表。主要有砂、碳預處理、保安過濾器、高壓泵、電導儀、溫度表、壓力表（高壓保護）、進水網、進水閥、濃水閥、止回閥、自動清洗閥組、液位自控等。
他們的主要功能是：
1.砂碳預處理：主要截留水中的雜質和吸附水中膠體余氯；
2。保安過濾器：主要防止微粒進入高壓泵和膜元件，以免損壞高壓泵和膜元件；
3.電導儀和溫度表：電導儀檢測RO進出水電導率；溫度表顯示出RO膜在不同溫度下的產水量變化；
4.高壓泵：增壓，滿足RO膜元件進行水壓力要求；
5.進水、濃水、淡水閥：用于調節RO進水量、產水量、進水壓力、濃水壓力回收率；
6，止回閥：主要用于停機后，防止RO壓力管中回水而影響損壞高壓泵；
7，自動清洗閥組：可定時（一般2-4小時，時間任意設定），用RO出水泵進入RO膜元件內，把膜表面污染物沖洗干凈，保持膜表面的清潔，減少化學清洗次數，延長膜元件得壽命；
8，壓力表：用于檢測RO進水，濃水壓力，帶有壓力保護，防止進水壓力過高而損害膜元件；
9，液位自控：用于防止無水情況下，高壓泵繼續運行而高壓泵損壞，另一作用是如RO水箱滿時，可使RO停止運行，防止RO水箱溢流。
